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什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

工业气体的危险性：

腐蚀性， 凡是能使人体、金属或其它物质发生腐蚀作用的气体，均被称为腐蚀性气体。瓶装气体多数属于非腐蚀性介质，但由于瓶装工业气体往往不纯，结果本来属于非腐蚀性的变成了腐蚀性的、甚至是强腐蚀性质的介质。比如干燥的（点-54℃以下）的***，对气瓶金属原本是没有腐蚀作用的，但由于瓶装***往往不纯，结果造成了瓶内介质对气瓶金属的应力腐蚀。由于成份不纯而造成腐蚀性的气体就不应选用一般钢瓶，选用特殊材料制造的气瓶，或对一般钢瓶进行特殊处理后再使用。

氧分子结构

氧原子中含有二个示成对的电子。氧原子的电子层构型是1S22S22P4 。对氧分子结构的认识有两种方法，即电子配对法和分子轨道法。

 按照电子配对法，氧分子应该以双键结合。它所含有的电子应当是成对的。即氧分子应是一个抗磁性分子，它的电子自旋***数的总和等于零，即不含有自旋未成对电子的分子。

通过对O2的光谱研究，了解到它含有两个自旋平行的电子，对O2分子磁性的测定，证明氧是个顺磁性分子。顺磁性分子，是指自旋***数的总和不等于零的分子。

标准气体分压定律

1810年道尔顿发现，混合气体的总压等于把各组分气体对浓度置于同一容器里所产生的压力之和。这个规律称为道尔顿分压定律。其实，道尔顿分压定律只对理想气体才成立，对于实际气体，由于分子间作用力的存在，道尔顿定律将出现偏差。因此，能满足道尔顿分压定律的气体混合物称为理想气体的理想混合物。国家测量局颁布的GB102.8—82采纳IUPAC的推荐，规定混合气体中的气体B的分压pB的定义为pB=xBp式中

xB为气体B的摩尔分数，p为混合气体在同温度下的总压。于是我们又可以得到：

p=p1 +p3 +p4 +……+pj +pB =∑pj =∑xjp

上式表明，混合气体的总压等于同温度下其组分气体的分压之和，此式可用于任何混合气体。

对于理想气体，将p总V=n总RT/V

可见分压pB是理想气体B单独占有混合气体的体积V时显示的压力。