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发布时间:2020-07-15 07:44:00 作者:安徽强源
高纯氮气在电子行业中的运用电子气体是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料,其中高纯氮气具有较多优势,不仅能够运用在冶金工业中,还能够运用在电子行业中。由于电子行业在生产过程中,也会对环境造成一定影响与破坏,因此电子行业迫切需要转型与升级,在提高生产工艺的基础上,将对环境的影响降低。电子行业中氮气纯度必须保持在99.999%之上,才符合电子行业的生产标准。
如何保证电子气体的安全储存
如何保证电子气体的安全储存、使用操作,系统的工艺和产品本征安全设计,在众多的***规范如,等都有很详细的规定,目前中国国内也正在起草针对电子特种气体的***规范。通常而言,会根据气体性质和相容性,将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房等。气体房规划需要考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物总量控制等等。针对输送系统,特别是系统,因总量较大,应釆用隔离式建筑。气体房和气柜应采用自动喷淋系统。而三氟化氯遇水反应,需要采用二氧化碳灭火系统。
使用电子气体的工厂抽风系统,也根据危险品性质分成了普通排风系统(,酸性排风系统(,溶剂排风系统(和氨气排风系统(。换钢瓶时的吹扫尾气,也建议排放至尾气处理器中。输送管道一般采用无缝管。施工釆用自动轨道焊接,经保压、氦检漏和纯度测试。对于毒、高反应性和自燃气体,应使用双套管输送。一些毒气体如磷烷等,安全输送系统(正在被广泛使用。其钢瓶内采用负压吸附的方式,用真空法输送,从根本上避免了气体的泄漏。气体侦测系统(是全厂生命安全系统(的重要组成部分。对于侦测器的要求,除了精度高,反应迅速外,还应具备自检功能。
液态氧能刺激皮肤和组织,引起冷烧殇。从液态氧蒸发的氧气易被衣服吸收,而且遇到任何一种火源均可引起急剧地燃烧。
氧中?治应及时,加强通风,改吸空气,安静休息,保持呼吸道通畅,给予镇静,防止肺部继发染。动物实验证明大剂量维生素C对氧中?有一定效果,可以采用。预防在于合理使用氧,使用高压氧时,应严格控制次数和时间。
缺氧的救治,关键在于除去造成缺氧的原因,和防治脑水肿。一般应立即撤离现场,吸入氧气,宜用正压给氧。
当皮肤接触液氧时,应立即用水冲洗,伤重者应就医诊治。
高纯气体管道配管及附件材料的选择要点
高纯度气体由管道输送,能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。
高纯气体管道输送管道,要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同,采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细,它不仅要求有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求,从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m)技术,对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格,10 -6(ppm级)已经不能达到要求,需要达到10-9(ppb级),甚至10-12(ppt级)。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。
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