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氦气检漏方法

1、高纯大宗气体管道氦检漏方法宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

2、内向检漏法（喷氦法）应采用在高纯气体管道内部抽真空，外部喷氦气的方法进行检漏。

3、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏。

4、外向检漏法（吸***法）应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸***检查可能泄漏点的方法检漏。

5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1。

***气同城采用低温空分装置，从空气中提取或从合成氨等化工生产过程中的尾气中回收提取。按我国目前的高威***气***，分为3级，纯度分别为99.999%、99.9993%、99.9996%，为了获得超大规模集成电路生产所需高纯***气，一般还应采用精纯化装置进行提纯，通常***气纯化方法可采用催化反应法、吸附法，装置大体与氮纯化装置相似，主要是去除***气中的杂质氧、二氧化碳、水分，若要去除烃类杂质，其纯化过程比较复杂，能源消耗大，投资大，且不能去除***中氮杂质，因此若产品生产要求去除氮杂质时，只要选用金属吸气剂法，不仅可以去除氮杂质，还可获得10-9级高纯***气，其特点与前述的金属消气剂***气纯化装置相似。

工业中把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体。工业气体是现代工业的基础材料，在国民经济中具有重要的地位和作用，广泛应用于冶金、钢铁、电子、环保、食品等国民经济的基础行业， 具有“公用配套事业”的作用，被誉为“工业的血液”。同时，作为企业转型升级的风向标，工业气体对国民经济的发展具有战略性的先导作用。

工业气体在下游用户的原料成本中占比很低，且需求具有刚性和稳定性的特点， 行业发展一直比较稳定且较为快速。，我国工业气体行业也面临着研发能力薄弱、研发投入不足等行业发展短板，尤其是在一些较为重要的领域，比如电子特气作为芯片制作的原材料，目前除了少数品种已经国产化之外，大多数品种仍然依赖进口，急需解决“短气”之痛。