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发布时间:2020-08-11 10:28:00 作者:安徽强源
氮气、高纯氮气使用操作时要注意什么:
拆卸、检修有氮封的容器盖板(盲板)、阀门时,必须先关闭进氮阀门,必要时加板隔断。作业人员要进入氮封的设备,或探入氮封设备前,必须在办理作业许可证的同时,进行第二阶段风险评估并经额外授权方可作业.进入人员必须佩带隔离式空气防毒面具,二人协同进行,设备人孔口外要有专人监护,未经批准,严禁进入和探入。
在打开经过氮气吹扫置换工艺处理的入孔或其它开口处,为防止未经许可随意进入可能存在缺氧环境的受限空间,作业过程中人员全部离开后,监护人员及时恢复设置。
在使用液氮装轴承时提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。戴防寒手套,防止气体泄漏到工作场所空气中。
什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
高纯气体怎么做成零点气体
高纯气体用作零点气的制作完全类似于气体标准物质的制作,但操作过程可以简化。通常使用的稀释气体中的某种或某类杂质含量低于分析方法所采用测量仪器的小检出量,则此种稀释气就可为“零点”气使用。
零点气体是用于在给定的含量范围内,用给定的分析方法去校准标准工作曲线的零点。当其作为被测样品进入检测仪表后,在仪器选下的测量范围内,仅呈现仪表零点的响应值,而不会产生偏离预置零点以外的响应信号。对不同类型的检测方法和不同灯头型的检测仪器,zui低检测限会对零点气体提出不同的要求。
如用在线分析仪器测量CO2高纯气体中的总烃含量时,可采用气相色谱法用氢火焰离子化检测器(FID)检测,由于FID存在强烈的基体效应,当采用不同基体的零点气校正仪表时,会导到致不可忽略的误差。
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