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发布时间:2020-10-07 06:07:00 作者:安徽强源
高纯氮气可以起到保护电热原件作用
经过试验表明,现阶段所有的热处理方式都能够使用高纯氮气完成,并且产品质量较高,生产效率具有保障。高纯氮气是一种中性气体,主要作用是保护与加热,还能够防止铁制品与铜制品等的氧化脱碳,因此高纯氮气被广泛运用在光亮退火等工艺中。冶金行业在进行真空热处理时,高纯氮气主要起到冷却的作用,用于低温工艺的处理。
在进行充氮加压油淬时,高纯氮气可以起到保护电热原件作用。在特定的电压与真空环境下,氮气会进行电离作用,实现离子渗氮。在冶金过程中,如果发生断电情况,将氮气充置炉内,就能够防止炉体发生燃爆,保障操作的安全性。在冶金行业中,高纯氮气的使用有效的促进和推动了行业发展,并对环境起到了一定保护作用,但冶金行业中所需要的氮气必须要具备较高的品质,氮气纯度必须保持在99.99%~99.999%以上,才能够达到使用标准。
什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
标准气体在流量计配置中的作用
标准气体这个名词相信很多人都是初次听说,当然,在小编没有接触到这个行业以前也是和大多数人一样的,对此一无所知。但是,没关系!所谓“闻道有先后,术业有专攻”嘛,今天小编就带大家来了解下,至于标准气体这个名词的含义呢,小编在这里就不多说了,大家可以直接去百度百科查看阅读,今天小编主要跟大家讲解下标准气体对涡街流量计传感器的准确度的调试过程中的主要一些作用和应用。
按照标准气体行业标准,标准气体涡街流量计传感器的准确度一般都在0.5级~1.5级的水平上,是无法作为0.5级标准传感器来使用的,当只使用标准气体流量传感器检定曲线上的一个有限段时。标准流量计标定的准确度可以得到一定的提高。同样用以检定被检流量计的准确度也可以得到提高。在这一有限测量范围内仪表系数K的相对误差将会小于仪表系数的全量程的误差。
试验结果表明若量程比为2:1或3:1,在***标定时能满足要求,因此,使用该传感器标准,建立气体流量装置是可行的。
高纯气体管道配管及附件材料的选择要点
高纯度气体由管道输送,能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。
高纯气体管道输送管道,要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同,采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细,它不仅要求有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求,从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m)技术,对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格,10 -6(ppm级)已经不能达到要求,需要达到10-9(ppb级),甚至10-12(ppt级)。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。
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