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氮气、高纯氮气使用操作时要注意什么：

凡需进入处理(检查或检修)的设备，经氮气吹扫、置换合格后，还必须用空气进行吹扫、置换，并经气体检测把关。其中气体检测取样分析要有代表性，设备容积较大时要对上、中、下各部位取样分析，应保证设备内部任何部位的含氧量和可燃气体浓度同时合格(当可燃气体燃爆极限大于4%时，指标为小于0.5燃爆极限小于4%时，指标为小于0.1；氧含量19.5一23.5%为合格)。注意对设备内部容易积聚或死角的地方进行吹扫、置换。用空气吹扫、置换前，必须关闭氮气阀门，拆除连接管线或加盲板隔离。

勿需进人处理(检查或检修)的设备，经氮气吹扫、置换合格后，关闭氮气阀门，拆除连接管线，系统泻压后，才可进行拆卸或检修。在有氮气危险，可能使周围环境缺氧的地方，应采取合适的预防措施，如配备呼吸设备或氧气检测仪等.?

工业气体的危险性：

燃爆性，物质从一种状态迅速转变成另一种状态，并在瞬间放出大量能量，同时产生巨大声响的现象，称为燃爆。燃爆可分为物理性燃爆和化学性燃爆。可燃气体的危险特性主要是指化学性燃爆，即由于气体发生极迅速的化学反应而产生高温、高压所引起的燃爆。对于盛装的化学性质非常活泼的气体钢瓶需要特别注意，因为这些介质具有非常危险的燃爆性。凡有热和光一齐放出的氧化反应称为燃烧。氧化不能仅仅理解为氧气与其它物质的化合，它也指物质与氧的化合。瓶装气体中“氧气瓶禁油”的道理是大家所熟悉的。氧气和绿气都是强烈的氧化剂，应避免与脂类等有机物接触。氧和氯都是化学性质活泼的气体，遇脂、胺、醇等多种有机物会发生强烈的化学反应而引起燃烧。

真空镀膜行业中，***气的流量大小具体如何控制?

如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下：***气如果只是调节压力，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，那么***气入气量不宜过大，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。

任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。

各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走,10-1Pa时炉内气体基本抽尽),然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体,以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后，都要进行保温除气，因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体，我们要通过适当的加热，让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例，除了在它表面吸附的气体之外，在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体，这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响，对膜层附着力影响也很大。

因此真空镀膜机镀膜时，膜层的好坏，气体启着关键性的作用，是镀膜环节不可或缺的一步。

标准气体分压定律

1810年道尔顿发现，混合气体的总压等于把各组分气体对浓度置于同一容器里所产生的压力之和。这个规律称为道尔顿分压定律。其实，道尔顿分压定律只对理想气体才成立，对于实际气体，由于分子间作用力的存在，道尔顿定律将出现偏差。因此，能满足道尔顿分压定律的气体混合物称为理想气体的理想混合物。国家测量局颁布的GB102.8—82采纳IUPAC的推荐，规定混合气体中的气体B的分压pB的定义为pB=xBp式中

xB为气体B的摩尔分数，p为混合气体在同温度下的总压。于是我们又可以得到：

p=p1 +p3 +p4 +……+pj +pB =∑pj =∑xjp

上式表明，混合气体的总压等于同温度下其组分气体的分压之和，此式可用于任何混合气体。

对于理想气体，将p总V=n总RT/V

可见分压pB是理想气体B单独占有混合气体的体积V时显示的压力。