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发布时间:2020-10-20 18:37:00 作者:安徽强源
什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
氮气纯度影响因素
回流比的影响精馏产品纯度在一定条件下取决于回流比大小。回流比是指塔内下流液氮量与上升富氧蒸汽量之比。回流比大时,即下流液氮多或者上升的富氧蒸汽少,气液混合温度必然偏于低温液氮一边,于是上升蒸气的温降就大,富氧蒸气冷凝的就多,离开塔板氮浓度提高的就快,在塔顶得到气体含氮气纯度就高。
所以在生产中要尽量增大回流比。精馏工况异常在精馏塔发生液泛或液漏等情况时,破坏了精馏塔的正常精馏工况,造成纯度下降。液泛现象如果塔板上液体难以沿溢流斗流下,造成溢流斗内液面越涨越高。直至与塔板上的液面相平,液体无法下流,就叫液泛或液悬。
氦气和其它气体不一样,氦气化学性质非常稳定,和其它有各种化合物的气体不一样。氢气、氮气等气体可以在实验室中通过化合物之间的反应来获取纯气,但是氦气没有化合物也就无法有所谓的实验室制氦气的方法。那么工业制氦气可行么?其实严格说来工业制氦气也是不行的,通常所说的工业制氦气指的是粗氦的提纯而不是制造。
现有的氦气都是混杂在然气中,工业制氦气也只是利用各种方法手段将氦气从其中提取出来,再通过液化分馏等手段进一步提纯获得更高纯度的氦气,例如超纯氦气、5N氦气等。理论上只要然气中氦气的含量超过0.5%就可以进行分离,实现大规模的商业开发。
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