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什么是高纯气体？

改革开放以来，随着我国高新技术的快速发展，计算机工业对大规模集成电路与液晶显示器的需求量增加；随着新型能源的发展，我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产；此外，新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也过的迅猛发展，上述高新产品的生产中，都需要大量高纯气体，以制造出***的各种器件。自然扩散法，将已配制的钢瓶标准气置于适当位置，静止不动，依靠气体本身的自然扩散来达到混合均匀。什么是高纯气体？半导体集成电路所需要的高纯气体主要分为两大类：1、普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体等。

半导体气体很多是对人体有害。气体在某种条件下与气瓶、阀门、管路材料不相容可导致如下危险：1、腐蚀，2、生成危险的化合物，3、因气体与阀门密封材料或管路材料不相容引起爆反应。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

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特种气体　(Specialty gases) ：指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。对气体混合气的事故分析，人们往往重视气体的毒性而忽略了其可燃性。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。