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什么是高纯气体？

改革开放以来，随着我国高新技术的快速发展，计算机工业对大规模集成电路与液晶显示器的需求量增加；随着新型能源的发展，我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产；此外，新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也过的迅猛发展，上述高新产品的生产中，都需要大量高纯气体，以制造出***的各种器件。什么是高纯气体？半导体集成电路所需要的高纯气体主要分为两大类：1、普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。气体经加压或降低温度，可以使气体分子间的距离大大缩小而被压入钢瓶中，这种气体成为压缩气体（如氧气、氮气、***气、氢气等）。2、特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体等。

据悉，在美国墨西哥湾地区，空气产品公司运营着当今世界供应能力大的氢气与合成气管网。该园区内长达1300多千米的气体运输管网均配有实时在线监测系统，便于统筹调配管理和有效集约供气。焊接大厚度铝及铝合金时，采用Ar+He混合气体可改善焊缝熔深、减少气孔和提高生产率。在中国南京化学工业园，公司已建成并运行3套5万标准立方米/小时的空分装置和总长50多千米的管道，为30多家园区内生产企业服务。这种供应模式非常灵活，比如在园区内有一个主客户需要氮气，如果采用集中供气，空分装置分离出来的其他气体可以通过管道输送给其他客户，那么主客户购买氮气的价格就能被摊薄，从而降低成本。空分设施生产的氧气、氮气不仅可提供给园区内的企业，其生产的液态气体还可供应给园区周边企业。

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。此外，还有一种性质极为不稳定的气体，加压后需溶于溶剂中储存在钢瓶内，这种气体称为溶解气体。线宽下对超纯氮气的要求，高纯氮气（PN2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。（N2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管或光亮退火（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

标准气体的稳定性

标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。当各种气体成分混合均匀后，用压缩机把混合均匀的气体充入高压钢瓶。装入高压钢瓶中的标准气体理论上在保存和使用过程中其浓度值不应发生变化。但实际上，标准气体中的组分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象而使其浓度值随时间发生变化，浓度越低、组成成分越复杂时这种变化越大。因此，标准气体的稳定性在很大程度上与容器的材料物性、容器内壁的预处理情况和气体本身的化学特性有着密切的关系。