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气体产品的种类

气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小，但根据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的高含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求，属于高技术，高附加值产品。管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度，而且，应当具有很高的耐磨特性。通常，可以将特种气体分为三类，即高纯或超高纯气体、标准校正气体和具有特定组成的混合气体。气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进程入制机台的使用点(POU, Point of Use)，更多气体知识请关注气体圈子***：gasgroup于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。2、气体的饱和蒸气压及其他性能，要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能，考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。

稀有气体的特点

稀有气体(RareGases)：元素周期表后一族的六种惰性气体中的任何一种气体, 即氦、***、***、***、氙、氡。种气体均可以空气分离方法从空气中提取。低压液化气体(Low P ressu re L iquef ied Gases) ：临界温度大于70℃的气体。区分为不燃无毒和不燃有毒、酸性腐蚀性气体; 可燃无毒和可燃有毒、酸性腐蚀性气体; 易分解或聚合的可燃气体。同时，吸附、解析周而复始，使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。此类气体在充装时以及在允许的工作温度下贮运和使用过程中均为液态。包括的气体品种有二氟氯***、二氟二氯***、三氟氯、五氟氯、氯、三氯化硼、***、二氧化氮、丙烷、***、正丁烷、异丁烷、1- 丁烯、异丁烯、顺- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氨、乙胺、甲硫醇、1, 3—丁二烯。