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标准气体的均匀性问题

为了解决标准气体的均匀性问题，在配制时厅以采取如下措施，促进标准气体混合均匀。振动或旋转，这是对装有标准气体的钢瓶进行旋转或把钢瓶放倒在地上滚动的方法。也可以采用微小振动或使钢瓶上下运动的方法加快钢瓶内的气体混合均匀。所以氮氢混合气体供气必须确保供气的封闭性和混合比例，不然对焊接车间来说，就是一个极大的隐患。自然扩散法，将已配制的钢瓶标准气置于适当位置，静止不动，依靠气体本身的自然扩散来达到混合均匀。但此法的缺点是为达到均匀状态所需要的时间较长，而且因气体的种类、浓度不同而所需要的时间不同。

特种气体充装前对钢瓶检查的重要意义气体在充装前必须对气瓶逐只进行认真的检查,这是为了防止气瓶在充装过程中或是在运输、贮存、使用中，由于混装、错装、换装、报废或是超期服役等原因而发生事故。所包括的气体品种有一氧化二氮、二氧化碳、三氟***、三氟氯***、六氟化硫、氙、***、乙烯、1,1-二氟乙烯、磷烷、氟乙烯。质量管理的要求， 1、钢印标记、颜色标记不符合规定，对瓶内介 质未确认的， 2、附件损坏、不全或不符合规定的，3、瓶内无剩余压力的， 4、超过检验期限的，5、经外观检查，存在明显损伤，需进地步检验的， 6、氧化或强氧化性气体气瓶沾有油脂的，7、气体气瓶的充装或定期检验后的首装，未经置换或是抽真空处理的。

半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。评价高纯气体的质量,除进行“纯度”指标评价外,还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

氧气的物理性质

氧元素位于周期表第六族，原子序数为8，原子量为16，分子量为32.在通常情况下，氧是无色、无味的气体。空气中含有自由状态的氧，按体积氧的含量约占21%，按质量约占23%。在标准状况下，1升氧气的质量为1.429克，它比空气稍重。对气体混合气的事故分析，人们往往重视气体的毒性而忽略了其可燃性。当温度降到-183℃ 时，氧态氧变成淡蓝色的液体；当温度降到-218.8℃ 时，液氧就会变成雪花状的淡蓝色固体。氧是自然界中含量较多的元素，分布很广，占地壳中各元素总量的47%，占水成分的89%，占地壳中岩石，抗物成分的46.6%。