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发布时间:2021-11-11 14:04:00 作者:安徽强源
电子气体的特点
电子气体(Elect ron ic gases) :半导体工业用的气体统称电子气体。③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁,当空气中的可燃气体浓度达到规定值时,事故排风装置自动开启,同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。按其门类可分为纯气、高纯4 _6 m+ p- _4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、L S I (大规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和UL S I (特大规模集成电路)级。
二氧化碳,1、物理性质:无色无味的气体,密度大于空气,能溶于水,固体的CO2叫“干冰”。为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入大气的排气管道上,为防止排气时突遇雷电阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧事故,必须在排气管道上设置阻火器。2、化学性质:不可燃性、氧化性(CO2 + C == 2CO;CaCO3 == CaO + CO2↑(工业制CO2)。)。3、应用:灭火、化工原料等。4、实验室制法及检验(1)药品:石灰石(大理石)(CaCO3)和稀盐酸(HCl)。(2)原理:CaCO3+2HCl=CaCl2+H2O+CO2↑(3)检验:通入澄清的石灰水,看是否变浑浊,若浑浊则是CO2。
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