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高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求：

1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；

2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；

3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

4、氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新气密性试验并合格，然后应按规定再时行氦检漏。

5、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。

6、系统测试完毕，应充入高纯氮气或***气，并应进行吹扫。

7、测试完毕后，应提交测试报告。

氦气质量标准

***工业氦气GB/T 4844.1—1995

早在1868年，法国天文学家简森(Janssen P J C,1824-1907)在观察日全食时，就曾在太阳光谱上观察到一条黄线D，这和早已知道的钠光谱的D1和D2两条线不相同。同时，英国天文学家洛克耶尔(Lockyer J N,1836-1920)也观测到这条黄线D。当时天文学家认为这条线只有太阳才有，并且还认为是一种金属元素。所以洛克耶尔把这个元素取名为Helium，这是由两个字拼起来的，helio是希腊文太阳神的意思，后缀-ium是指金属元素而言。中译名为氦。

1895年，莱姆赛和另一位英国化学家特拉弗斯(Travers M W,1872-1961)合作，在用硫酸处理沥青铀矿时，产生一种不活泼的气体，用光谱鉴定为氦，证实了氦元素也是一种稀有气体，这种元素地球上也有，并且是非金属元素。 氦气纯度 工业氦

项目名称 指标 氦气纯度，% ≥ 99

***（氢）、氧（***）、***总含量，% ≤ 1 水分含量，点，℃ ≤ -43。

高纯氮气制备

高纯氮气目前制取氮气的方法主要是低温空气分离和非低温空气分离。非低温空气分离有变压吸附法和膜法制单，膜法制单制取氮气纯度<99%时是经济的、适用的、但要制取99.9%-99.999%纯度的氮气，图6-30是一套制取纯度为99.999%的空分装置，该装置与一般纯氮装装置不同之处在于纯化器之前设有催化反应器，该反应器是在催化剂的作用下将空气中的碳氢化合物转化为CO2、H2O，以便在纯化器中去除，可获得高质量的纯氮。