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标准气体制备方法：

流量法

1、适用范围：流量比法法是动态配气方法，是严格控制一定比例的组分气体和释稀释气体的流量，经混合而得到的标准气体。

2、所需设备，气瓶，气瓶减压阀门，单向阀，流量控制器，压力表，管道，机箱。

稀释法

1、适用范围：稀释法法法是制备低含量标准气体的方法之一。

2、所需设备，气瓶，气瓶减压阀门，流量控制器，压力表，管道。

体积法

1、适用范围：体积比法是简单的配气方法，是根据所需气体的含量，按体积计算。控制组分气体和释稀释气体的体积，经混合而得到的标准气体。

2、所需设备，注射气，定体积容器。

高纯气体必须满足的条件

高纯气体必须满足2 个条件:

1、主体成分含量必须大于某一定值。

2、各杂质组分含量必须小于某一定值。

 电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满足以上要求, 可列为高纯气体。

评价高纯气体的质量, 除进行“纯度”指标评价外, 还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。任何一项超出规定的要求, 都不能称之为合格品。

氦气介绍

工业氦：项氦气纯度：≥99%，（氢）、氧（***）、***总含量，%≤1，水分含量，点，≤-43℃。

纯氦：氦气纯度，%≥99.99599.99399.99

含量，ppm≤152540，氢含量，ppm≤357，

氧（***）含量，ppm≤355

氮含量，ppm≤101725，***，ppm≤111，二氧化碳，ppm≤111

***量，ppm≤111，水分含量，ppm≤101520

高纯氦气：氦气纯度>99.999%，

杂质含量（ppm）O2≤0.5，N2≤1.0，CO≤0.5，CO2≤0.5，CH4≤0.5，H2O≤0.5，Ne≤8.0；

超纯氦气：氦气纯度>99.9999%，

杂质含量（ppm）N2≤0.5，O2≤0.5，Ne≤0.5，CO≤0.1，CO2≤0.1，THC≤0.1，H2O≤0.2；

高纯氮气的注意事项

高纯氮常在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。而在航天技术中，也需要高纯氮做置换气体。

1、消防措施

危险特性：若遇高热，容器内压增大，有开裂和燃爆的危险。

有害燃烧产物：氮气。

灭火方法：本品不燃。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷掉，直至灭火结束用雾状水保持火场中容器冷掉。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发，但不可使用水***射至液氮。

2、泄漏应急处理

应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格控制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，检验后再用。