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高纯氦气的废弃物处理方式主要包括物理处理和化学处理。物理处理主要是通过吸附、过滤、沉淀等方式将氦气中的杂质去除，然后将纯化的氦气进行储存或再利用。化学处理则是通过化学反应将氦气中的杂质转化为无害的物质，然后将处理后的氦气进行排放或储存。在处理过程中，需要注意遵守相关的环保法规，确保废弃物的安全处理和处置。