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高纯氦气的纯度检测通常通过气相色谱法或光谱法进行。气相色谱法是将氦气样品通过色谱柱，利用不同组分在色谱柱中的保留时间差异来测定其纯度。光谱法则是利用氦气在特定波长下的吸收特性来测定其纯度。这些方法都需要使用的设备和标准样品进行校准，以确保检测结果的准确性。在实际应用中，高纯氦气的纯度检测通常由的检测机构进行。