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高纯氩气是一种无色、无味、无毒的惰性气体，主要用途包括：1.用于半导体工业中的气相沉积、光刻、蚀刻等工艺，作为保护气体和反应气体；2.用于金属焊接和切割，作为保护气体，防止氧化和熔化；3.用于填充惰性气体灯，如氩气灯、氖气灯等；4.用于填充气体分析仪，如气相色谱仪、质谱仪等；5.用于气体放电管、高频管等电子管的制造；6.用于填充高真空设备，如真空泵、真空炉等；7.用于气体保护焊、氩弧焊等焊接工艺；8.用于气体保护熔炼、粉末冶金等工艺；9.用于气体保护涂装、气体保护热处理等工艺；10.用于气体保护切割、气体保护钻孔等工艺。

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