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高纯气体的废弃物和废气处理通常包括以下几个步骤：首先，通过物理方法（如过滤、吸附、沉淀等）去除废弃物和废气中的固体颗粒和液体杂质；其次，通过化学方法（如氧化、还原、中和等）去除废弃物和废气中的有害气体和有害物质；，通过生物方法（如生物滤池、生物反应器等）去除废弃物和废气中的有机物和微生物。这些步骤可以有效地减少废弃物和废气对环境的影响，并且可以实现废弃物和废气的资源化利用。

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