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超高纯气体是一种非常特殊的工业级气体制品，其纯净度远超普通的气体。这种高精度、高质量的特种工艺用惰性保护气氛和氢等混合混合使用在电子元件和高精密部件制作业中广泛地应用着，也广泛应用于真空镀膜技术中的辅助材料及还原剂以及原子能工程用的充示氮等等领域里边以稀有金属为例：如氖-氪（NeKr）组合的四氟化錋(C6F14)为载体的四氯化铂(PtCl2)，具有对金/银微粒表面的吸附能力强优点；另外氦He氩Ar二氧化碳CO2等各种不同种类的特殊的高品位干燥空气也被用作该类项目的抽空解吸提供必要的条件。

氮气有多种用途，主要包括：气体保护：氮气可以用作气体保护剂，用于保护金属材料、电子元器件、食品等不受氧化、腐蚀等影响；气体检测：氮气可以用作气体检测剂，特种气体价格，用于检测混合气体中的空气成分、氧气含量等；气体分离：氮气可以用作气体分离剂，用于分离混合气体中的其他气体成分，如氧气、氢气等；气体催化：氮气可以用作气体催化剂，用于催化化学反应，如氨合成、生产等；气体消耗：氮气可以用作气体消耗剂，用于消耗空气中的氧气，如深海潜水、空间站等。